母盘制作方法

   母盘制作过程对工艺要求是极为严格的,生产中的任何环节度出问题都可能造成目盘缺陷而报废，所以车间的环境、操作人员的水平直接影响到母盘的质量。母盘的缺陷分为电气性能和外观两个方面，它们的解决方法也不同：

电气性能主要表现在：

    1、BLER太高 2、I3/I11太高 3、I3/I11太低 4、SYM/ASYM太高或太低

    5、PUSH PULL 太高或太低 6、读取TOC出错 7、有E32或E22太多 8、REF太高

    9、RN太高  

外观缺陷主要表现以下方面：

    1、版面上出现一圈圈的环状带

    2、版面有污点

    3、无法显影

    4、玻璃片上有凝块

    5、版面出现同心圈状条纹

    6、出现马蹄形物

    7、感光胶出现径向条纹

    8、玻璃表面出现环绕污点

    9、母盘外圈出现手指形状的黑色印

    10、从中心向外辐射的径向条纹带

    11、在显微镜下看有泡或镍松弛

    12、划伤

    13、云彩

    14、鱼眼

    15、在程序区出现没有坑的环绕黑点

    16、电铸时接触环部分松脱

    17、电铸时接触环完全松脱

    18、母盘的背面有氨基磺酸晶体

    19、版的信息中心部分由蓝色/褐色的污点

    20、在程序区的中心或内圈有轻微的黑环

    21、版中心孔没有镍 22、烧伤

    23、信息去外围出现不规则的白色乳状污迹

    24、黄色/褐色的污迹覆盖在整个信息区

    25、镍层太早分离玻璃片

    26、褐色污迹

    27、结晶很明显